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P-170臺(tái)階儀是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，可提供幾納米至一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量功能，適用于生產(chǎn)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接。 P-170具有的圖案識(shí)別算法、增強(qiáng)的光學(xué)系統(tǒng)和的平臺(tái)，這了性能的穩(wěn)定和系統(tǒng)間配方的無(wú)縫移植- 這是24x7生產(chǎn)環(huán)境的關(guān)鍵要求。

型號(hào)：P-170

更新日期：2023-07-24

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P-17臺(tái)階儀支持從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接。

型號(hào)：P-17

更新日期：2023-07-24

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P-7臺(tái)階儀支持從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)150mm而無(wú)需圖像拼接。

型號(hào)：P-7

更新日期：2023-06-05

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Alpha-Step D-600臺(tái)階儀能夠測(cè)量從幾納米到1200微米的2D和3D臺(tái)階高度。 D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D和3D測(cè)量。 D-600包括一個(gè)電動(dòng)200毫米樣品卡盤和的光學(xué)系統(tǒng)以及加強(qiáng)視頻控制。

型號(hào)：D-600

更新日期：2019-07-22

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Alpha-Step D-500臺(tái)階儀能夠測(cè)量從幾納米到1200微米的2D臺(tái)階高度。 D-500還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測(cè)量。 D-500包括一個(gè)手動(dòng)140毫米平臺(tái)和的光學(xué)系統(tǒng)以及加強(qiáng)視頻控制。

型號(hào)：D-500

更新日期：2023-06-05

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Surface Stylus Profilers 探針式表面輪廓儀 P-7KLA是半導(dǎo)體在線檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)的供應(yīng)商，在半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存 儲(chǔ)、 MEMS 、太陽(yáng)能、光電子以及其他領(lǐng)域中有著市占率。P-7 是KLA公司的第八代探針式臺(tái)階儀系統(tǒng)，歷經(jīng)技術(shù)積累和不斷迭代更新，集合眾多技術(shù)優(yōu)勢(shì)。P-7建立在市場(chǎng)的P-17臺(tái)式探針輪廓分析系統(tǒng) 的成功基礎(chǔ)之上。

型號(hào)：KLA P-7

更新日期：2024-08-08

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