高性能X射線熒光分析儀的分析技術目前已在地質(zhì)、冶金、材料、環(huán)境等無機分析領域得到了廣泛的應用，是各種無機材料中主組分分析重要的技術手段之一，各種與X射線熒光光譜相關的分析技術，如同步輻射XRF、全反射XRF光譜技術等，在痕量和超痕量分析中發(fā)揮著重要的作用。

　　高性能X射線熒光分析儀的主要組成部件如下：

　?。?）氣氛

　　X射線光譜儀能夠分析元素周期表中的大部分元素，具體而言，從鈉元素（原子序數(shù)Z=11）到鈾元素（原子序數(shù)Z=92）都可以利用這種技術進行檢測分析。但是對于原子序數(shù)較低的元素（鈦元素Ti，Z=22以下），空氣會對檢測結果產(chǎn)生較大影響；由低原子序數(shù)元素產(chǎn)生的熒光值通常更低，并且樣品基體中的其它元素有可能會吸收低原子序數(shù)元素的能量輻射。

　　通常情況下，用于提高低原子序數(shù)元素的檢測靈敏度的方法主要為將儀器的樣品室抽成真空環(huán)境或者以氦氣(He)沖洗樣品室。

　?。?）探測器

　　新型探測器技術——硅漂移探測器（SDDs）能夠提高低能量敏感度，使得X射線熒光光譜技術可以對一些低原子序數(shù)元素進行檢測分析，甚至是在空氣氣氛中也能進行檢測，例如用于測量化學鍍鎳涂層中磷元素（原子序數(shù)Z=15）的含量。但是，大多數(shù)的低原子序數(shù)元素的檢測分析依然還需要隔離空氣氣氛。

　　（3）X射線源（X射線管、供電電源、濾光片、光束尺寸）

　　這里將一些組件都列到X射線源里面統(tǒng)一討論，包括X射線管、電源供應器、濾光片、光束尺寸。X射線管和供電電源決定了檢測樣品將受到的能量強度和能量分布。商業(yè)化的能量色散高性能X射線熒光分析儀中用到的大多數(shù)X射線管都是50KV，1mA（50W）規(guī)格的。50KV的高電壓能夠提供更高的激發(fā)效率；X射線管通量可以利用燈絲電流設置進行控制。