光學(xué)輪廓儀對各種產(chǎn)品，部件和材料的表面輪廓，粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析的精密儀器。

　　下面讓我們一起來了解一下光學(xué)輪廓儀的主要功能吧：

　　1、共聚焦

　　共聚焦技術(shù)可以用來測量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.10um。利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí)，共聚焦在光滑表面測量斜率達(dá)70°(粗糙表面達(dá)86°)。共聚焦算法保證Z軸測量重復(fù)性在納米范疇。

　　2、相位差干涉(PSI)

　　相位差干涉是一種亞納米級精度的用于測量光滑表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以保證亞納米級的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實(shí)現(xiàn)超高縱向分辨率的大視場測量。

　　3、白光干涉(VSI)

　　白光干涉是一種納米級測量精度的用于測量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以保證納米級的縱向分辨率。

　　4、多焦面疊加

　　多焦面疊加技術(shù)是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗(yàn)，特別設(shè)計(jì)了此功能來補(bǔ)足低倍共聚焦測量的需要。該技術(shù)的大亮點(diǎn)是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大(大86°)。此功能對工件和模具測量特別有用。

　　5、薄膜測量

　　用分光反射計(jì)可以完善地解決薄膜厚度測量。Sneox在增加了分光反射計(jì)后可以測量10nm的膜厚和多10層膜。由于是通過顯微鏡頭測量，小的測量點(diǎn)為5um。因?yàn)橄到y(tǒng)里有組合的LED光源，所以實(shí)時(shí)觀察和膜厚測量能同時(shí)進(jìn)行。